超精密加工；加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺。

超精密砂轮磨削

       利用经过仔细修正的粒度为W40~W5的砂轮进行磨削，可以获得加工精度为0.1μm，表面粗糙度为Ra0.025~Ra0.008μm的加工表面。
 

超精密磨削机理

       超精磨削是一种极薄切削，切削厚度极小，磨削深度可能小于晶粒的大小，磨削就在晶粒内进行，因此磨削力一定要超过晶体内部非常大的原子、分子结合力，从而磨粒上所承受的切应力就急速地增大，可能接近被磨削材料的剪切强度极限；同时，磨粒切削刃处收到高温和高压的作用，要求磨粒材料有很高的高温强度和高温硬度。
 

超精密加工主要包括三个领域

       1、超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削，可加工各种镜面；它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工；
       2、超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成路基片的加工；
       3、超精密特种加工如大规模集成电路芯片删的图形是电子束、离子束刻蚀的方法加工，线宽可大0.1μm；
 

图：精密五金件加工产品图

超精密加工技术的影响因素

       1、加工机理
       在传统加工方法中，金刚石刀具超精密切削、金刚石微粉砂轮超精密磨削、精密高速切削、精密砂带磨削等已占有重要地位；在非传统加工中，出现了电子束、离子束、激光束等高能加工、微波加工、超声加工、蚀刻、电火花和电化学加工等多种方法，特别是复合加工，在加工机理上均有所创新，尤其以快速成型为代表的“堆积”加工，在加工技术领域具有里程碑意义。
       2、被加工材料
       超精密加工的零件，其材料的化学成分、物理力学性能、加工工艺性能均有严格要求；

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